反射光顯微鏡通常稱為作為入射光，落射照明，或冶金顯微鏡，熒光和成像標本，即使研磨至厚度為30微米時，仍然不透明的方法給出。

標本屬于這一類的范圍是巨大的，包括大多數金屬，礦石，陶瓷，聚合物半導體（未加工的硅，硅片，集成電路），礦渣，煤，塑料，涂料，造紙，木材，皮革，玻璃包裹體，以及各種特殊材料。

因為光無法通過這些標本，它必須被引導到表面上，并較終返回到無論是鏡面反射或漫反射的顯微鏡物鏡。正如上面所提到的，這樣的照明是較經常被稱為落射照明，落射照明，或垂直照度為（基本上是源自上述），在對比發送的穿過試樣的照明。

今天，許多顯微鏡制造商提供的模型，允許用戶交替或同時使用垂直和透射光進行調查。為這兩種類型的照明配置在圖1中示出一個典型的顯微鏡。開始，原產于上述燈殼體的照明光線的反射光的光路徑。旁邊該光穿過聚光透鏡到垂直照明器，它是由光圈和視場光闌控制。通過垂直照明器后，被反射的光通過物鏡照亮試樣通過一個分束器（半反射鏡或橢圓形的第一表面反射鏡）。

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